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GaN自立基板
GaN自立基板
窒化ガリウム自立基板はHVPE(Halide Vapour Phase Epitaxy)技術とウェハ加工技術により製造された単結晶基板です.高い結晶品質、良好な均質性、優れた表
窒化ガリウム自立基板はHVPE(Halide Vapour Phase Epitaxy)技術とウェハ加工技術により製造された単結晶基板です。高い結晶品質、良好な均質性、優れた表面品質を特徴としています。
2インチGaN自立基板
種類
アンドープ(UID)
Siドープ n型
Feドープ 半絶縁型
サイズ
50.8 ± 1 mm
50.8 ± 1 mm
50.8 ± 1 mm
厚さ
350 ± 25 μm
400 ± 25 μm
350 ± 25 μm
400 ± 25 μm
350 ± 25 μm
400 ± 25 μm
抵抗値(300K)
< 0.05 Ω·cm
>1.0E8 Ω·cm
TTV
≤ 15 μm(2“)
BOW
≤ 20 μm(2“)
Ga面 表面粗さ
< 0.2 nm (polished)
有効面積
> 90%
転位密度
<9.9x10
5
cm
-2
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