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GaN自立基板

GaN自立基板

窒化ガリウム自立基板はHVPE(Halide Vapour Phase Epitaxy)技術とウェハ加工技術により製造された単結晶基板です.高い結晶品質、良好な均質性、優れた表

 
窒化ガリウム自立基板はHVPE(Halide Vapour Phase Epitaxy)技術とウェハ加工技術により製造された単結晶基板です。高い結晶品質、良好な均質性、優れた表面品質を特徴としています。
 
2インチGaN自立基板
種類 アンドープ(UID) Siドープ n型 Feドープ 半絶縁型
サイズ 50.8 ± 1 mm 50.8 ± 1 mm 50.8 ± 1 mm
厚さ 350 ± 25 μm
400 ± 25 μm
350 ± 25 μm
400 ± 25 μm
350 ± 25 μm
400 ± 25 μm
抵抗値(300K)   < 0.05 Ω·cm >1.0E8 Ω·cm
TTV ≤ 15 μm(2“)
BOW ≤ 20 μm(2“)
Ga面 表面粗さ < 0.2 nm (polished)
有効面積 > 90%
転位密度 <9.9x105 cm-2
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